物質科学・工学へのアプローチ

山梨大学・管野善則　著
A5判・224頁　定価（本体2136円+税）
ISBN4-87603-095-2 C3043 ¥2136E

１章　危険物質の取り扱い（半導体製造プロセスの安定性ほか）　２章　成膜技術（PVD法／CVD法／ゾル─ゲルコーティング）　３章　機器分析（分子構造とスペクトルほか）　４章　新素材（ファインセラミックスほか）　５章　固体の表面　６章　補遺